飞秒激光打孔是一种利用飞秒激光器发出的超短脉冲光束在材料表面进行精细加工的技术。飞秒(femtosecond)是时间的单位,1飞秒等于10^-15秒。飞秒激光器产生的脉冲宽度在几十到几百飞秒之间,这种超短脉冲光束能够在非常短的时间内向材料输送高能量,使得材料几乎没有时间进行热传导,因此能够极大地减少加工过程中的热影响区(HAZ),避免或减少热损伤,实现高精度、高质量的微孔加工。
飞秒激光打孔的主要特点包括:
高精度和高质量:由于热影响区极小,飞秒激光打孔可以实现微米甚至纳米级的加工精度。
适用性广:飞秒激光能够在各种材料上进行加工,包括金属、半导体、绝缘体、有机材料等。
无材料选择性:由于飞秒激光的脉冲宽度非常短,材料来不及显示其化学或物理差异,因此对不同的材料具有很好的加工通用性。