飞秒激光加工微纳制造

超声液体辅助飞秒激光加工 飞秒激光打孔 激光三维刻型 飞秒激光与超表面

精密光学透镜制造

模具制造 玻璃模压成型 飞秒切割加工

3D打印和增材制造

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微纳器件定制

光刻 薄膜沉积 湿法刻蚀 干法刻蚀 深反应离子刻蚀 键合技术 微电极加工 封装 释放

纳米结构加工技术

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检测与样品表征

3D激光共聚焦显微镜 轮廓仪 偏心仪